| Wielkość powierzchni roboczej (D*H mm) | Φ200*300 | Φ300*600 | Φ400*900 |
|---|---|---|---|
| Próżnia ostateczna (Pa) | 1*10- 4/ 1*10-3 | 1*10- 4/ 1*10-3 | 1*10- 4/ 1*10-3 |
| Maksymalna temperatura (°C) | 2400 / 2500 | 2400 / 2500 | 2400 / 2500 |
| Jednorodność temperatury (°C) | ± 7.5 | ± 7.5 | ± 10 |
| Wskaźnik wzrostu ciśnienia (Pa/h) | 0.67 | 0.67 | 0.67 |