| Wielkość powierzchni roboczej (średnica * wysokość mm) | Φ200*300 | Φ300*600 | Φ400*900 |
|---|---|---|---|
| Próżnia ostateczna (Pa) | 1*10- 41*10-3 | 1*10- 41*10-3 | 1*10- 41*10-3 |
| Maksymalna temperatura (°C) | 2400 2500 | 2400 2500 | 2400 2500 |
| Jednorodność temperatury (°C) | ± 7.5 | ± 7.5 | ±7.5 ±10 |
| Prędkość wzrostu ciśnienia (Pa/h) | 0.67 | 0.67 | 0.67 |